新一代靶材材料研發成功,引領高科技產業創新浪潮
發布時間:
2024-03-25
新型靶材的具體應用領域包括:
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半導體領域:新型靶材在半導體領域的應用非常廣泛,如電極、布線薄膜、儲存器電極薄膜、粘附薄膜、電容器絕緣膜薄膜等。這些靶材材料包括鋁、銅、金、銀、鈀、鉑、鋁硅合金、鋁硅銅合金等。
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磁記錄領域:新型靶材在磁記錄領域的應用也非常重要,如垂直磁記錄薄膜、硬盤用薄膜、薄膜磁頭、人工晶體薄膜等。這些靶材材料包括鈷鉻合金、鈷鉻鉭合金、鈷鉻鉑合金、鈷鉻鉭鉑合金、鈷鉭鉻合金、鈷鉻鋯合金、鈷鉑合金、鈷鈀合金等。
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光記錄領域:新型靶材在光記錄領域的應用也非常關鍵,如相變光盤記錄薄膜、磁光盤記錄薄膜、光盤反射薄膜、光盤保護薄膜等。這些靶材材料包括硒化碲、硒化銻、鍺銻碲合金、鍺碲合金、鏑鐵鈷合金、鋱鏑鐵合金、鋱鐵鈷合金、氧化鋁、氧化鎂、氮化硅等。
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顯示領域:新型靶材在顯示領域的應用也非常重要,如透明導電薄膜、電極布線薄膜、電致發光薄膜等。這些靶材材料包括氧化銦錫、氧化鋅鋁、鉬、鎢、鈦、鉭、鉻、鋁、鋁鈦合金、鋁鉭合金等。
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其他應用領域:新型靶材在其他應用領域的應用也非常廣泛,如裝飾薄膜、低電阻薄膜、超導薄膜、工具鍍薄膜等。這些靶材材料包括鈦、鋯、鉻、鈦鋁合金、不銹鋼、鎳鉻合金、鎳鉻硅合金、鎳鉻鋁合金、鎳銅合金、釔鋇銅氧、鉍鍶鈣銅氧等。
總之,新型靶材在電子、磁性、光學、光電和超導薄膜等高新技術和工業領域有廣泛應用,它們是制備薄膜材料的主要技術之一,對于推動相關產業的發展具有重要意義。
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